基于多特征融合的LCD微小瑕疵自動分類.pdf

1、薄膜場效應(yīng)晶體管液晶顯示器（以下簡寫為TFT-LCD）,因其出色的色彩表現(xiàn)力，超低的能耗，和輕薄的特性，在顯示設(shè)備的領(lǐng)域已經(jīng)逐漸有一統(tǒng)江湖的勢頭。在LCD大批量生產(chǎn)的過程中，精確的質(zhì)量把控是產(chǎn)線不間斷工作的保證，這種質(zhì)量監(jiān)控主要依賴于對產(chǎn)線上每一階段的半成品的實時分析。
　　TFT-LCD的工藝流程中最容易產(chǎn)生瑕疵的流程是陣列(Array)制程，這個制程包含了復(fù)雜的工藝，生成精細的模塊。一張顯示屏往往集成了數(shù)以億計的的晶體管，它們

2、會排列成周期陣列。根據(jù)制作工藝的不同，在這個制程中會疊加4到7層工藝，這些層都將疊加式的制作于一塊玻璃薄板上。在陣列制程產(chǎn)生的產(chǎn)品缺陷。如果不能及時發(fā)現(xiàn)，及時解決，在接下來的制程中都將造成不可挽回的損失。陣列的工藝主要由三個基本操作實現(xiàn)：分別是鍍膜、光刻和刻蝕。這三個工序都可能產(chǎn)生不同類型的工藝上的瑕疵。這些瑕疵根據(jù)它們的成因可以分為很多類。在LCD生產(chǎn)的生產(chǎn)中，及時的發(fā)現(xiàn)并且識別出它們的類別，對于發(fā)現(xiàn)生成工序的缺陷，改善生成工藝，提高

3、生產(chǎn)質(zhì)量都至關(guān)重要。
　　在以往的檢測中，人工檢測一直扮演著重要的角色，在Array制程之后，需要大量的檢測人員對生產(chǎn)出的基板作詳細的甄別，用肉眼找出可能的瑕疵，并通過大量的經(jīng)驗判斷瑕疵的類別，這項工作不但極其繁重，而且由于人的判斷差異，會出現(xiàn)大量的誤判。
　　在這篇文章中，我們詳細闡述了如何通過機器學(xué)習(xí)和計算機視覺的方法解決在液晶面板的生產(chǎn)中對半成品檢測的工作。我們首先探索了挖掘瑕疵不同方面特征的描述子，并對幾個描述子給出