溶膠-凝膠法制備二氧化釩薄膜及其光譜性能研究.pdf

1、國內圖書分類號：TB34學校代碼：10213國際圖書分類號：620密級：公開工學碩士學位論文工學碩士學位論文溶膠凝膠法制備二氧化釩薄膜及其光譜性能研究碩士研究生：豆書亮導師：李垚教授申請學位：工程碩士學科：材料工程所在單位：航天學院答辯日期：2014年6月授予學位單位：哈爾濱工業(yè)大學摘要II摘摘摘摘要要要要本文利用溶膠凝膠法以V2O5為原料制備了VO2薄膜，采用變溫透射光譜研究了VO2薄膜的相變特性，并在VO2薄膜表面沉積了SiO2二維

2、光子晶體，改變了VO2薄膜的顏色，并提高了其可見透過比。首先利用水淬法獲得V2O5溶膠，添加PVP與V2O5溶膠粒子發(fā)生氫鍵反應，改善了溶膠的穩(wěn)定性；增強了溶膠對基板的潤濕性，改善了成膜工藝。通過對干燥的V2O5雜化凝膠進行TGDTA測試，分析了凝膠在升溫過程中的變化，確定了熱處理參數(shù)。其次，在玻璃基板上V2O5凝膠膜進行熱處理，根據(jù)不同熱處理溫度和不同保溫時間的熱處理結果，分析了V2O5凝膠膜在熱處理過程中PVP的作用，并且指出了玻璃

3、基板上不能夠獲得純VO2的原因是玻璃基板中Na的擴散阻止了V2O5向VO2轉變。再次，采用正交實驗在石英基板上制備獲得VO2薄膜。對S6薄膜進行XPS和拉曼光譜的分析，表明S6薄膜是純VO2薄膜。對VO2薄膜的相變特性研究表明，VO2薄膜的表面形貌和厚度對VO2薄膜的相變特性影響非常大，表面凸起有利于提高VO2薄膜的可見透過比；厚度增加能夠減小可見透過比，增大熱調控能力。采用提拉法獲得的VO2夾芯雙面薄膜有助于提高薄膜的熱調控能力。最后