基于全柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)的空間微動超精密定位平臺的研究.pdf

1、在過去的幾十年里,具有納米/微納米定位精度的精密定位平臺越來越受到人們的關(guān)注,其廣闊的應(yīng)用前景和發(fā)展?jié)摿κ沟脤谌嵝?全柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)的精密定位平臺的研究具有重要意義。
　　本文在基于柔性并聯(lián)機(jī)構(gòu)的精密定位平臺的基礎(chǔ)上結(jié)合柔順機(jī)構(gòu)學(xué)理論設(shè)計了一類以全柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)為主要構(gòu)件的精密定位平臺,并應(yīng)用虛功原理對構(gòu)成精密定位平臺的柔性并聯(lián)機(jī)構(gòu)和全柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)的靜剛度進(jìn)行了推導(dǎo)和一系列的仿真計算。具體內(nèi)容如下:
　　1、以3-UPC型并

2、聯(lián)機(jī)構(gòu)、4-RPUR型并聯(lián)機(jī)構(gòu)及UPU/4-SPS型非對稱并聯(lián)機(jī)構(gòu)為原型,分別通過柔性鉸鏈替換法及柔順機(jī)構(gòu)學(xué)相關(guān)原理構(gòu)造了相應(yīng)的柔性并聯(lián)機(jī)構(gòu)和全柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu),并以此為基礎(chǔ)設(shè)計出與之相對應(yīng)的精密定位平臺。
　　2、運用虛功原理,結(jié)合構(gòu)成精密定位平臺的柔性/全柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)特征,推導(dǎo)出柔性/全柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)精密定位平臺的靜剛度理論模型。
　　3、從加工誤差及理論模型誤差等方面對精密定位平臺的精度影響因素進(jìn)行分析。
　　4