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文檔簡介
1、硅微加速度傳感器是微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域里發(fā)展最早、最為成功的典范之一.從90年代初開始,部分產(chǎn)品進(jìn)入批量生產(chǎn).然而隨著科學(xué)技術(shù)日新月異地迅速發(fā)展,特別是生物醫(yī)學(xué)、航空航天和國防科學(xué)等高新技術(shù)的發(fā)展對(duì)加速度傳感器提出了集成化、微型化、智能化、高靈敏、高可靠性等一系列更高的要求,因此各種新原理、新結(jié)構(gòu)的硅微加速度傳感器的研究仍是世界各發(fā)達(dá)國家的研究熱點(diǎn).該文對(duì)硅微力平衡電容加速度傳感器的相關(guān)基礎(chǔ)理論和關(guān)鍵制造技術(shù)進(jìn)行了較系統(tǒng)深入的研
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