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1、在MEMS器件中，用的較多的構(gòu)件有薄膜材料，對(duì)其力學(xué)性能的分析是MEMS器件分析的關(guān)鍵所在。由于受到殘余應(yīng)力，彈性模量的誤差，薄膜晶格的各異性，泊松比，微結(jié)構(gòu)的疲勞和破壞韌性等的影響，實(shí)際測(cè)量數(shù)據(jù)和理論公式總存在一些誤差。首先本文通過實(shí)際測(cè)量的數(shù)據(jù)在Matlab環(huán)境下的分析對(duì)力與撓度的關(guān)系進(jìn)行了驗(yàn)證。其次通過BP網(wǎng)絡(luò)和RBF網(wǎng)絡(luò)對(duì)在一組數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)測(cè)，得到BP網(wǎng)絡(luò)和RBF網(wǎng)絡(luò)的對(duì)撓度與力的關(guān)系預(yù)測(cè)是可行的，但是RBF網(wǎng)絡(luò)的預(yù)測(cè)速率快些，預(yù)
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