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文檔簡介
1、隨著科技的飛速進(jìn)步,21世紀(jì)將成為生命科學(xué)、微電子技術(shù)、材料科學(xué)等交叉融合發(fā)展的黃金時(shí)代。應(yīng)運(yùn)而生的生物微機(jī)電系統(tǒng)(bio micro-electro-mechanical systems, BioMEMS),是一種能將復(fù)雜的醫(yī)學(xué)診療過程集成在微觀的空間中使其智能化、信息化的技術(shù),目的是為人類提供更便捷、無痛苦、安全可靠的診療方法。NiTi形狀記憶合金是一種醫(yī)用金屬材料,具有獨(dú)特的形狀記憶和良好的生物相容性。制成薄膜后,它在保持形狀記憶
2、性能的同時(shí),較大的比表面積還彌補(bǔ)了塊體形狀記憶材料溫度響應(yīng)效率低的缺點(diǎn)。因此,對(duì)NiTi薄膜在BioMEMS應(yīng)用的研究已經(jīng)開展并初具規(guī)模。本實(shí)驗(yàn)就NiTi薄膜的制備及在BioMEMS中的應(yīng)用做了一些基礎(chǔ)研究,具體如下: 1. 磁控濺射法制備NiTi形狀記憶薄膜,系統(tǒng)地研究并總結(jié)了濺射參數(shù)(功率、氣壓、基片和靶材)對(duì)薄膜成分、厚度及性能的影響。研究了NiTi薄膜及器件的光刻法加工工藝。 2. 用XRD法研究薄膜室溫組織的變
3、化,探討濺射參數(shù)及不同薄膜成分和熱處理?xiàng)l件對(duì)NiTi薄膜室溫組織和相變溫度的影響。得到的結(jié)論包括:薄膜的室溫組織隨著Ti含量的升高呈現(xiàn)從奧氏體向馬氏體轉(zhuǎn)變的過程,說明馬氏體相變的溫度隨著Ti含量的升高而升高;在本實(shí)驗(yàn)的條件下,薄膜濺射態(tài)擇優(yōu)形成了奧氏體(200)面取向的晶體。 3. 觀察薄膜的微觀形貌,探討了濺射參數(shù)對(duì)薄膜微結(jié)構(gòu)的影響。結(jié)果包括:較高的濺射氣壓使薄膜形成了島狀的微觀結(jié)構(gòu),使薄膜變得多孔疏松;濺射功率的降低使薄膜的
4、島狀結(jié)構(gòu)變得細(xì)密;基片的加熱可以使薄膜結(jié)構(gòu)致密化,在未加熱的基片上形成的薄膜多孔,且存在大量微裂紋。 4. 提出了一種以NiTi薄膜驅(qū)動(dòng)的生物微機(jī)電載藥元器件,實(shí)現(xiàn)藥物的可控釋放,并利用有限元模擬軟件進(jìn)行仿真模擬。本實(shí)驗(yàn)通過系統(tǒng)地研究和分析,有效調(diào)整了薄膜磁控濺射的工藝參數(shù),從生長機(jī)制的角度討論了濺射參數(shù)對(duì)薄膜微結(jié)構(gòu)及性能的影響。提出一種以可控載藥為基礎(chǔ)的NiTi薄膜智能微型載藥元件的設(shè)計(jì),為NiTi薄膜在生物微機(jī)電系統(tǒng)的應(yīng)用開
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