深亞微米工藝下耦合互連線的時(shí)延分析.pdf

1、本文對(duì)集成電路芯片互連線的時(shí)延，尤其是耦合互連線的時(shí)延做了研究。研究從單根互連線的時(shí)延估算著手，以此作為耦合互連線時(shí)延估算的基礎(chǔ)。介紹了互連線時(shí)延估算的電路模型、傳輸線模型；還對(duì)斜階躍信號(hào)激勵(lì)下的互連線時(shí)延估算進(jìn)行了研究——用改進(jìn)一階模型逼近傳輸線的傳輸函數(shù)，由此得到了比較簡潔的時(shí)延解析式。用該式計(jì)算所得的結(jié)果與SPICE仿真結(jié)果相比，誤差小于5％。針對(duì)深亞微米工藝條件下，互連線之間耦合效應(yīng)日益突出的情況，第三、第四兩章對(duì)耦合互連線

2、的時(shí)延進(jìn)行了研究。其中第三章用電路模型進(jìn)行分析：針對(duì)兩種情況（旁線初始態(tài)為0，以及初始態(tài)不為0）分別給出了電路模型下的Elmore時(shí)延計(jì)算公式。第四章用兩種方法給出了耦合互連線在傳輸線模型下時(shí)延估算的解析公式，分別為數(shù)據(jù)擬合法與特征模變換法。特征模分析法利用“完全去耦模型”使原來相互耦合的兩根互連線轉(zhuǎn)變?yōu)橛歇?dú)立源與負(fù)載的獨(dú)立傳輸模式；得到各獨(dú)立模式的輸出后，再將之合成，即可得到耦合互連線的輸出，從而，可得耦合互連線的傳輸時(shí)延。本文給出了