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文檔簡介
1、制作微型化的氣體傳感器是MEMS應(yīng)用的主要領(lǐng)域之一.半導(dǎo)體氣敏傳感器,是當前MEMS氣敏傳感器的主流.其中使用最多的氣敏材料是二氧化錫(SnO<,2>).已有的研究很重視氣敏特性的測量以及不同的工藝過程對薄膜微觀結(jié)構(gòu)特性的影響和氣敏特性的聯(lián)系,但在基礎(chǔ)研究工作方面卻進展緩慢.MEMS中大量使用薄膜材料,厚度可達微米、亞微米地至納米量級.在這個尺度上,材料的特性與宏觀情況下是不同的.而在這樣小的微器件中關(guān)于熱的問題不可忽略.分子動力學(xué)模擬
2、和量子力學(xué)從頭算方法是研究微觀世界的有效方法.Matiarial Studio<'TM>軟件是Accelrys公司開發(fā)的專門用于分子模擬的軟件,該文在計算中采用該軟件作為模擬平臺.論文以SnO<,2>氣敏薄膜(顆粒)作為研究對象,利用分子動力學(xué)模擬方法計算微尺度下的SnO<,2>薄膜(顆粒)的熱容.首先計算了在幾百nm厚度的薄膜熱容,然后繼續(xù)縮小薄膜的尺寸,研究了nm級顆粒的熱容情況.計算結(jié)果表明,在微觀尺度下的熱容,數(shù)值不再是一常量,
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