磁懸浮分子泵數(shù)字控制系統(tǒng)研究和實驗.pdf

1、磁懸浮分子泵是一種采用磁軸承替代傳統(tǒng)軸承的真空泵，是典型的機電一體化產(chǎn)品，具有高轉(zhuǎn)速、長壽命和高剛度等優(yōu)點，廣泛應用于半導體等領域。本課題研究目的是為了解決國家16項重大專項課題之一——神光Ⅲ項目中要求的高真空和高潔凈等問題。普通分子泵有壽命短、振動和噪音高以及抽取真空的潔凈度不理想的缺點，顯然不能滿足其要求，因此磁懸浮分子泵的研究應用具有特殊的意義。
　　本論文主要進行了磁懸浮分子泵結構設計，磁軸承數(shù)字控制系統(tǒng)的研究和基于DSP

2、的數(shù)字控制器模擬化設計方法的研究。
　　首先，在渦輪分子泵的基礎上，根據(jù)磁軸承的特點進行了磁懸浮渦輪分子泵的結構設計，側重于介紹磁懸浮渦輪分子泵磁軸承系統(tǒng)的結構和構成部件，以及其機械裝置的重新設計與改進工作，并介紹了工作原理。
　　其次，對磁懸浮渦輪分子泵磁軸承系統(tǒng)各部分進行了詳細的介紹，建立了各個部分的數(shù)學模型，建立了控制系統(tǒng)的閉環(huán)傳遞函數(shù)，用MATLAB對其進行了仿真研究，并在此基礎上分析了PID調(diào)節(jié)器中各參數(shù)對控制性能