基于Witness仿真的TiW蝕刻機(jī)臺產(chǎn)能改善研究.pdf

1、對于半導(dǎo)體封裝測試廠，生產(chǎn)成本的控制是衡量生產(chǎn)管理水平和成本競爭力的重要指標(biāo)。面對半導(dǎo)體行業(yè)的激烈競爭，如何有效的控制生產(chǎn)成本，并最終降低成本是企業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者面臨的一道難題。通過提高設(shè)備產(chǎn)能減少設(shè)備費用投入從而降低生產(chǎn)成本是增加企業(yè)競爭力的一個重要手段之一。
　　 半導(dǎo)體行業(yè)的高復(fù)雜化特征的生產(chǎn)制造系統(tǒng)，傳統(tǒng)的研究方法已不能實現(xiàn)生產(chǎn)工藝仿真優(yōu)化，無法有效地挖掘出各機(jī)臺產(chǎn)能提升的潛能。本文研究通過對某公司金凸塊鈦鎢(TiW)蝕刻制程，

2、采用工業(yè)工程中的工作時間研究、仿真建模研究與靈敏度分析研究等手法，對其開展研究。
　　 本文首先分析了金凸塊鈦鎢TiW蝕刻制程流程，其次采用Witness仿真軟件對上述金凸塊TiW蝕刻制程建立了生產(chǎn)工藝過程仿真模型，包括晶圓存貯、傳輸、蝕刻( 兩步)、水洗、下料等TiW蝕刻制程完整工藝；接著，通過產(chǎn)能靈敏度分析，對TiW蝕刻加工時間、調(diào)整時間、參數(shù)設(shè)置時間、人員響應(yīng)策略等開展單因素及多因素復(fù)合工藝生產(chǎn)能力仿真研究；結(jié)合工程實際約

3、束，研究上述因素對機(jī)臺產(chǎn)能影響機(jī)制。仿真結(jié)果表明：TiW蝕刻槽1加工時間下降6％，調(diào)整時間下降630秒, 參數(shù)設(shè)置時間減少8秒, 再加入人員響應(yīng)策略影響可以使產(chǎn)能提升10％。最后將研究分析結(jié)果應(yīng)用于企業(yè)生產(chǎn)實踐，初步取得成功應(yīng)用，在沒有任何資金投入的情況下，企業(yè)重點設(shè)備TiW蝕刻機(jī)臺產(chǎn)能提高了10％，平均日生產(chǎn)能力由1564片提升到1743片。改善前后，產(chǎn)品品質(zhì)監(jiān)測對比表明產(chǎn)品品質(zhì)沒有明顯影響，Undercut和TiW殘留率兩個產(chǎn)品品質(zhì)