基于有限狀態(tài)機(jī)理論的MCS控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、總控及通訊分系統(tǒng)(MCS)作為浸沒式光刻機(jī)中與浸沒液體控制相關(guān)的三個(gè)子系統(tǒng)的上位機(jī)系統(tǒng)，是形成穩(wěn)態(tài)流場(chǎng)，實(shí)現(xiàn)浸沒式光刻的重要控制系統(tǒng)。三個(gè)被控子系統(tǒng)功能相互獨(dú)立，系統(tǒng)運(yùn)行工序復(fù)雜，系統(tǒng)之間耦合度低，控制差異大，加之浸沒式光刻機(jī)控制系統(tǒng)的集成化和模塊化程度要求越來越高。為了降低系統(tǒng)設(shè)計(jì)的復(fù)雜度和實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的控制時(shí)序設(shè)計(jì)，采用系統(tǒng)建模方法簡(jiǎn)化MCS控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)具有現(xiàn)實(shí)意義。
　　本文針對(duì)MCS控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)過程中的兩大問題，提出采用有限狀

2、態(tài)機(jī)實(shí)現(xiàn)控制系統(tǒng)狀態(tài)化，利用正交法對(duì)系統(tǒng)狀態(tài)進(jìn)行分析，并設(shè)計(jì)系統(tǒng)狀態(tài)轉(zhuǎn)移機(jī)制實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)控制時(shí)序設(shè)計(jì)，利用Stateflow仿真驗(yàn)證狀態(tài)轉(zhuǎn)移機(jī)制的合理性，最后搭建了MCS控制系統(tǒng)運(yùn)行平臺(tái)，通過系統(tǒng)集成運(yùn)行和測(cè)試證明采用有限狀態(tài)機(jī)方法能簡(jiǎn)化MCS控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的目的。具體工作如下:
　　1、介紹課題研究背景，分析MCS控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)過程中的兩大問題，提出有限狀態(tài)機(jī)理論的解決方法，闡述MCS控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的整體方案，并描述系統(tǒng)功能和設(shè)計(jì)需求。<

3、br>　　2、設(shè)計(jì)MCS控制系統(tǒng)的硬件方案，對(duì)各硬件模塊進(jìn)行選型分析并搭建MCS控制系統(tǒng)的硬件平臺(tái)。
　　3、設(shè)計(jì)了MCS控制系統(tǒng)的軟件架構(gòu)，利用正交法對(duì)系統(tǒng)狀態(tài)進(jìn)行分析。通過控制流程分析了解系統(tǒng)的時(shí)序控制過程，利用UML用例圖和時(shí)序圖分析系統(tǒng)的交互。采用有限狀態(tài)機(jī)方法建立狀態(tài)轉(zhuǎn)移機(jī)制，最后采用Stateflow軟件仿真分析所設(shè)計(jì)的狀態(tài)轉(zhuǎn)移機(jī)制的合理性。
　　4、集成MCS控制系統(tǒng)的軟硬件平臺(tái)，測(cè)試系統(tǒng)功能，驗(yàn)證系統(tǒng)時(shí)序控制