飛秒激光加工透明材料.pdf

1、本文系統(tǒng)研究了飛秒激光快速成型建模，以及透明電介質(zhì)超精細(xì)微加工工藝，全面分析了飛秒激光與電介質(zhì)材料相互作用的過程。其內(nèi)容主要包括以下幾個(gè)方面： 一、飛秒激光快速成型建模。對(duì)于二維平面模型，本文利用Matlab圖像處理工具箱提供的各種接口函數(shù)和在VC平臺(tái)上自行開發(fā)的程序模塊，從待加工模型轉(zhuǎn)化而成的數(shù)字圖像中提取出邊界信息，確定飛秒激光的加工路徑。 針對(duì)三維器件的加工，為了平衡加工精度和加工時(shí)間，本文提出了一種新型的自適應(yīng)切

2、片算法，利用低階曲面逐步逼近待加工模型表面，以切片上下面間的徑向偏差控制加工精度和切片厚度。對(duì)花瓶的切片結(jié)果表明，利用該算法切片能夠在有效減少切片數(shù)量的同時(shí)獲得較高的加工精度。 二、飛秒激光加工工藝的研究。本文詳細(xì)分析了影響飛秒激光超精細(xì)微加工的各種因素，研究了飛秒激光與透明材料的相互作用機(jī)理，利用飛秒激光輔助化學(xué)腐蝕方法，在K9玻璃內(nèi)加工出了深孔。研究結(jié)果表明，為了取得較好的加工質(zhì)量，必須根據(jù)具體的加工情況，協(xié)調(diào)好激光光強(qiáng)、加