環(huán)式徑向剪切干涉測量系統(tǒng)研究.pdf

1、波面剪切干涉技術(shù)是利用待測波面自身的干涉，它是利用一定的裝置將具有空間相干性的待測波面分割成兩個相同或相似的波面，并在這兩個波面之間產(chǎn)生一定的空間錯位，在其重疊區(qū)域產(chǎn)生干涉條紋。與傳統(tǒng)的干涉儀如Twyman-Green干涉儀相比較，剪切干涉儀不但具有靈敏度高、精度高、測量非接觸性等共同優(yōu)點，而且還具有其獨特的優(yōu)勢。剪切干涉儀屬于等程干涉，對光源無特殊要求，即便是白光光源也比較容易得到對比度較高的剪切干涉圖。因其參考光和物光共光路，無需設(shè)

2、置專門的參考光路，對溫度升降、空氣擾動、機(jī)械振動都不敏感。大多數(shù)剪切干涉儀不受口徑限制，從理論上講，添加一定的輔助元件可以檢測任何口徑的元件。徑向剪切干涉儀可以從單幅干涉圖得到原始波前的相關(guān)信息。因此，對徑向剪切干涉儀進(jìn)行研究具有重要現(xiàn)實意義。
　　本研究主要內(nèi)容包括：⑴論述了徑向剪切干涉相比傳統(tǒng)干涉儀的優(yōu)點，國內(nèi)外關(guān)于徑向剪切干涉技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀，在此基礎(chǔ)上給出環(huán)式徑向剪切干涉測量系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)；⑵列出了波面剪切干涉技術(shù)的基本方式

3、，分析了徑向剪切干涉基本原理及徑向剪切干涉基本類型；⑶通過分析靈敏度與剪切比的關(guān)系，分析望遠(yuǎn)系統(tǒng)放大倍率與剪切比的關(guān)系，設(shè)計了一個變焦望遠(yuǎn)系統(tǒng)，并利用此變焦望遠(yuǎn)系統(tǒng)對徑向剪切干涉儀的剪切比進(jìn)行了選擇；⑷分別對環(huán)式徑向剪切干涉測量系統(tǒng)的各部件進(jìn)行設(shè)計，包括分光鏡、激光擴(kuò)束系統(tǒng)、望遠(yuǎn)系統(tǒng)、壓束系統(tǒng)。并給出了環(huán)式徑向剪切干涉系統(tǒng)的系統(tǒng)裝配圖；⑸利用ZEMAX非序列空間對環(huán)式徑向剪切干涉系統(tǒng)進(jìn)行了仿真模擬，分析了望遠(yuǎn)系統(tǒng)的影響。給出了三種剪切光