聲表面波器件的模擬與仿真.pdf

1、SAW濾波器與其它濾波器相比,具有抗干擾強(qiáng)、體積小、一致性好、適合大規(guī)模生產(chǎn)等特點(diǎn),在通信、電子戰(zhàn)、電視中得到廣泛的應(yīng)用。SAW器件以其優(yōu)異的特性和廣泛的應(yīng)用受到研究者的廣泛關(guān)注。
　　 精確建模是設(shè)計(jì)高性能聲表面波器件的關(guān)鍵。本文重點(diǎn)對(duì)聲表面波器件的模擬與仿真進(jìn)行研究,旨在為聲表面波器件的制作提供高精度的仿真模型。
　　 本文內(nèi)容包括SAW的基本理論、SAW的基本仿真模型、聲表面波諧振器及COM模型、(100)AIN/

2、(111)Diamond多層膜結(jié)構(gòu)的頻散效應(yīng)、聲表面波器件的有限元仿真等內(nèi)容。其主要工作包括:
　　 在深入理解聲表面波COM模型的基礎(chǔ)上,采用該模型分析了鈮酸鋰晶體雙端口諧振器的頻率響應(yīng)特性,并用Matlab編寫了相應(yīng)的仿真代碼。通過諧振器的頻率響應(yīng)曲線,我們可以觀察到:雙端口諧振器諧振時(shí)有很窄的尖峰出現(xiàn)。
　　 (100)A1N/(111)Diamond多層膜具有頻散效應(yīng),聲表面波的相速受(100)AIN膜厚影響很大

3、,在設(shè)計(jì)多層膜結(jié)構(gòu)聲表面波器件前,必須精確估算多層膜結(jié)構(gòu)的聲表面波相速。我們通過聲表面波的克里斯托夫(Christoffel)方程及多層膜的邊界條件,構(gòu)建了多層膜的克里斯托夫(Christoffel)方程,通過求解該方程,得到了多層膜結(jié)構(gòu)的頻散效應(yīng)曲線。此外,我們還詳細(xì)介紹了(100)A1N和(111)Diamond材料常數(shù)的計(jì)算。
　　 借助Comsol軟件,我們模擬仿真了壓電晶體單端口諧振器、多層膜結(jié)構(gòu)單端口諧振器和多層膜結(jié)