真空泵的選擇27243

1、真空真空泵的選擇選擇選用真空用真空泵時(shí)泵時(shí)，需要注意下列事，需要注意下列事項(xiàng)：1、真空、真空泵的工作的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空足真空設(shè)備設(shè)備的極限真空及工作的極限真空及工作壓強(qiáng)壓強(qiáng)要求。如：真空要求。如：真空鍍膜要求膜要求1105mmHg的真空度，的真空度，選用的真空用的真空泵的真的真空度至少要空度至少要5106mmHg。通常。通常選擇泵選擇泵的真空度要高于真空的真空度要高于真空設(shè)備設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。2

2、、正確地、正確地選擇選擇真空真空泵的工作點(diǎn)。每種的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作都有一定的工作壓強(qiáng)壓強(qiáng)范圍，如：如：擴(kuò)散泵為泵為103~107mmHg，在，在這樣寬壓強(qiáng)這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，內(nèi)，泵的抽速隨的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其化，其穩(wěn)定的工作定的工作壓強(qiáng)壓強(qiáng)范圍為圍為5104~5106mmHg。因而，。因而，泵的工作點(diǎn)的工作點(diǎn)應(yīng)該選應(yīng)該選在這個(gè)范個(gè)范圍之內(nèi)，而不能之內(nèi)，而不能讓它在它在108mmHg下長(zhǎng)期工作。又如工作。又如鈦升華泵華泵可以在

3、可以在102mmHg下工作，但其工作下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)壓強(qiáng)應(yīng)小于1105mmHg為好。好。3、真空、真空泵在其工作在其工作壓強(qiáng)壓強(qiáng)下，下，應(yīng)能排走真空能排走真空設(shè)備設(shè)備工藝過(guò)藝過(guò)程中程中產(chǎn)生的生的全部氣體量。全部氣體量。4、正確地、正確地組合真空合真空泵。由于真空。由于真空泵有選擇選擇性抽氣，因而，有性抽氣，因而，有時(shí)選時(shí)選用一種用一種泵不能不能滿足抽氣要求，需要幾種足抽氣要求，需要幾種泵組泵組合起來(lái)，互相合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能充才能

4、滿足抽氣要求。如足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子射離子泵，（或二極型非（或二極型非對(duì)稱陰極稱陰極濺射離子射離子泵）對(duì)氬對(duì)氬有一定的抽速，有一定的抽速，兩者兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣不能在大氣壓下工作，需要下工作，需要預(yù)真空；有的真空真空；有的真空泵出口出口壓強(qiáng)壓強(qiáng)

5、低于大氣低于大氣壓，需要前，需要前級(jí)泵級(jí)泵，故都需要把，故都需要把泵組泵組合起來(lái)使用。合起來(lái)使用。5、真空、真空設(shè)備對(duì)設(shè)備對(duì)油污染的要求。若染的要求。若設(shè)備嚴(yán)設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選應(yīng)該選各等零件的等零件的損壞，以致壞，以致泵無(wú)法工作。無(wú)法工作。根據(jù)以上原根據(jù)以上原則，當(dāng)，當(dāng)泵所需的真空度或氣體所需的真空度或氣體壓力不高力不高時(shí)，可，可優(yōu)先在先在單級(jí)泵單級(jí)泵中選取。如果真空度或排氣取。如果真空度或排氣壓力較高，高，單級(jí)泵單級(jí)

6、泵往往不能往往不能滿足，足，或者，要求或者，要求泵在較高真空度情況下仍有高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲大氣量，即要求性能曲線在較高真空度高真空度時(shí)較時(shí)較平坦，可平坦，可選用兩用兩級(jí)泵級(jí)泵。如果真空度要求在。如果真空度要求在－710mmHg以上，可以上，可選用水用水環(huán)－大氣－大氣泵或水或水環(huán)－羅茨真空機(jī)茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。抽真空裝置。如果只作真空如果只作真空泵用，用，則選則選用單作用作用泵比較好。因好。因?yàn)閱螢閱巫饔米饔帽?/p>

7、的構(gòu)的構(gòu)造簡(jiǎn)單簡(jiǎn)單，容易制造和，容易制造和維護(hù)維護(hù)，且在高真空情況下抗汽，且在高真空情況下抗汽蝕性好。性好。如果如果僅作較大氣量的大氣量的壓縮壓縮機(jī)使用，機(jī)使用，則選則選用雙作用的用雙作用的泵比較合適。合適。因?yàn)殡p作用雙作用泵的氣量大，體的氣量大，體積小，重量小，重量輕，徑向力能得到自，徑向力能得到自動(dòng)平衡，平衡，軸不容易不容易產(chǎn)生疲生疲勞斷裂，斷裂，泵的使用壽命的使用壽命較長(zhǎng)較長(zhǎng)。二、根據(jù)系二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量所需的氣量選擇選擇真空