亞單層和多層銅薄膜生長的動力學蒙特卡羅模擬.pdf

1、本文建立了亞單層銅薄膜生長和多層銅薄膜生長的三維動力學蒙特卡羅模型，用動力學蒙特卡羅方法對亞單層和多層銅薄膜的生長過程進行了模擬。研究了薄膜生長過程中工藝參數(shù)對表面形貌的影響，進而研究銅薄膜生長中表面結構的形成及其動力學演化規(guī)律。 研究了襯底溫度和沉積速率對亞單層銅薄膜生長的影響。結果表明，隨襯底溫度升高和沉積速率降低，島形狀由離散型逐漸轉變?yōu)榫o致型，形成近四方的島，島的平均尺寸急劇增大，島的數(shù)目迅速減少，襯底溫度達到一定值之后

2、，島的數(shù)目基本不變，島的尺寸分布接近正態(tài)分布；隨覆蓋度的增大，島的平均尺寸增加，島的數(shù)目減?。划敻采w度大于一定值之后，島的數(shù)目基本不變。 分別采用來自于第一原理計算和分子動力學計算的激活能作為輸入?yún)?shù)，研究了襯底溫度和沉積速率對多層銅薄膜生長的影響。結果表明，隨沉積時間的增加，薄膜表面逐步由“連綿的層狀”過渡為“山包狀”結構，島狀物逐步向聚集型過渡，表面變得越來越粗糙，單個島狀物的面積增大，島狀物的數(shù)目減少；襯底溫度較低時，薄膜